金刚石干磨片研磨后玻璃亚表面状态
郑州山源机械有限公司 http://www.hnhbzc.com 发布时间:2020-10-29 09:04
图3是用扫描电镜观察9 pm碳化硅浆料研磨的玻璃亚表面损伤层(左侧图放大500倍,右侧图放大2000倍)可以看出损伤层很深并且不均匀。浆料研磨其机理为滚压式所以损伤层较深;浆料中磨粒粒度分布较宽有大颗粒混入所以损伤不均匀。而固结式微复制金刚石干磨片TDT的材料去除机理类似于耕犁式的研磨其金刚石颗粒均匀分布于微单元内均匀的粒径分布可以减少损伤层。另外TDT研磨为固结式大平面研磨是多层复合的弹性结构这样的结构可以有效减少玻璃破片提高良品率因此,TDT在提高磨削去除率的同时可以有效地降低表面粗糙度减少亚表面损伤。
图4到图7分别是20 μm,9 μm,4 μm.2 μm微复制阵列状金刚石干磨片TDT研磨的康宁玻璃的亚表面损伤形态可见损伤层较浆料研磨明显改善。TDT 粒度越细研磨后玻璃的损伤层越小。图7的2 μm微复制金刚石干磨片TDPT研磨后的玻璃表面损伤已经非常小。
通过2000倍的扫描电镜观察发现大部分玻璃已经抛光磨透,除了脆性形变外,还出现了塑性形变使玻璃部分被抛光。根据TDT研磨后的玻璃状 态我们可以得出结论,3M TDYT的金刚石磨料粒径均匀粒度分布较传统碳化硅浆料要窄可以在较高磨削去除率下达到较好的表面粗糙度进而使后工序的氧化铈抛光时间大大减少降低抛光成本。
